CAOPORN国产精品免费视频,无套内谢少妇毛片a片免费,欧美人妻一区黄a片,妺妺窝人体色www在线观看

技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 >半導體中的干蝕刻如何理解

半導體中的干蝕刻如何理解

更新時間:2020-08-31   點擊次數(shù):2978次

干蝕刻是一類較新型,但迅速為半導體工業(yè)所采用的技術。其利用電漿(plasma)來進行半導體薄膜材料的蝕刻加工。其中電漿必須在真空度約100.001Torr的環(huán)境下,才有可能被激發(fā)出來;而干蝕刻采用的氣體,或轟擊質量頗巨,或化學活性*,均能達成蝕刻的目的。干蝕刻基本上包括「離子轟擊」(ion-bombardment)與「化學反應」(chemicalreaction)兩部份蝕刻機制。偏「離子轟擊」效應者使用氬氣(argon),加工出來之邊緣側向侵蝕現(xiàn)象極微。而偏「化學反應」效應者則采氟系或氯系氣體(如四氟化碳CF4),經激發(fā)出來的電漿,即帶有氟或氯之離子團,可快速與芯片表面材質反應。干蝕刻法可直接利用光阻作蝕刻之阻絕遮幕,不必另行成長阻絕遮幕之半導體材料。而其重要的優(yōu)點,能兼顧邊緣側向侵蝕現(xiàn)象極微與高蝕刻率兩種優(yōu)點,換言之,本技術中所謂「活性離子蝕刻」(reactiveionetch;RIE)已足敷「次微米」線寬制程技術的要求,而正被大量使用中。

极品教师在线观看免费完整版 | 国产精品久久无码一区| 免费无码一区二区三区蜜桃大| 精品免费久久久久久久| 亚洲最大AV资源站无码AV网址| 国产激情精品一区二区三区| 国产又硬又粗进去好爽a片软件 | 久久久综合香蕉尹人综合网| 国产精品一区二区AV不卡| 亚洲人色婷婷成人网站在线观看| 熟妇高潮一区二区三区| 在线精品亚洲一区二区| 国产精品成人无码视频| 精品国产一区二区三区不卡| 成人欧美一区二区三区在线| 欧美激情国产精品视频一区二区 | 黄瓜视频在线观看| 粗大黑人巨精大战欧美成人| 成年轻人电影免费20岁| 日韩人妻无码精品无码中文字幕 | 三年片在线观看免费大全| 极品少妇大喷潮21p| 麻豆人人妻人人妻人人片av| 99精品国产兔费观看久久| 久久精品国产亚洲av久| 久无码久无码av无码| 99久久国产露脸精品竹菊传媒| 国产精品乱码人妻一区二区三区| 中文字幕丰满伦子无码| 亚洲hairy多毛pics大全| 国产美女视频国产视视频| 国产成人久久777777| 少妇挤奶水a片无码网站| 亚洲女初尝黑人巨高清| 特级bbbbbbbbb视频| 国产成人一区二区三区在线观看| 少妇挑战三个黑人惨叫4p国语| 初爱视频教程| 国精产品一区二区三区公司| 99国产精品久久久久久久成人热| 直接观看黄网站免费视频|